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洁净室风量及换气次数检测
的意义
洁净室的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以置换、稀释室内在生产、过程中所散发的颗粒污染物来实现。同时依靠洁净室的风量平衡维持洁净室正(负)压,以避免不同级别的洁净区域之间颗粒污染物的无组织渗透。因此,洁净室或洁净设施的风量检测十分必要。
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