洁净室的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以置换、稀释室内在生产、过程中所散发的颗粒污染物来实现。同时依靠洁净室的风量平衡维持洁净室正（负）压，以避免不同级别的洁净区域之间颗粒污染物的无组织渗透。因此，洁净室或洁净设施的风量检测十分必要。