洁净室压差检测方法以及注意事项

       

   再用微压差计逐一测量封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的洁净室压差。如果洁净设施中包括多个洁净室，则应从最里面的房间，通常也是洁净级别最高的房间与其紧邻的房间之间压差测起。如此继续下去，直至测得最靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。

                                               洁净室压差检测方法

步骤 1 所有门应处于关闭位置或正常位置； 

步骤 2 有排风系统，应在最大排风风量下进行；

步骤 3 若洁净空间被分为若干房间，应从里至外依次测量各级洁净室间的

压差，直至测出洁净区与非洁净区、室外环境之间的压差；

步骤 4 对于洁净度 5 级和优于 5 级的单向流洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口 0.6m 处的室内侧工作面高度的粒子数；

步骤 5 与邻室相同的洁净室之间有不可关闭的开口时，应测定开口处的流速和流向；

步骤 6 测量并记录下所有数据。

                                                   洁净室压差检测合格要求

 按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于 5Pa。洁净室与室外的静压差，不应小于 10Pa。

 对于空气洁净度等级高于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内侧 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量，至合格为止。

                                                       洁净室压差检测注意事项

       所测的压差一般很小，测量方法不正确很容易造成读数有误。应考虑下列措施：

1）为减少环境误差所引起的测量误差，可适当延长预热平衡时间，建议设置永久性测点；

2）测点设在洁净室中间，远离可能影响测点局部压力的送风口和回风口；

3）远离强电磁场及振动源；

4）仪器应按计量器具管理办法制定鉴定周期，定期标定。

洁净室竣工后，再投入使用之前，首先要经过国家授权的检测机构的检测，并且取得 洁净室检测合格报告，然后彻底消毒以后，才能正常使用。