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洁净室压差日常监测如何控制

返回列表 来源: 发布日期: 2021.07.26

       根据ISO 14644-2:2015关于洁净室压差监测的要求,需要设定压差报警限,一般建议设定为日常监测上限-(2~3Pa)或压差下限+(2~3Pa)
     根据日常记录监测结果分析,建议对压力报警装置设定一个压力报警范围值,对于一个正压装置,设定所观察到的最低压力值-(建议2-3Pa)作为报警值;对于一个负压装置,则+(建议2-3Pa)作为报警值。
一.关于压差报警,允许对压差报警设定延时,以满足日常操作需要(如进出开门),但需要合理确定该项活动所需要的时间,并以此确定延时。
     通常需要延迟报警或行动警报,以允许洁净室的正常活动,如开门以允许人员进出。仔细观察典型的或预期的正常偏差的持续时间是确定适当的时间延迟的必要条件。超出正常持续时间的偏差应激活报警。
二.有关缓冲间门的要求,除非安装充气密封(equipped with inflatable seals),否则开门后压差存在泄漏(客观事实)。
     当人员或物料从一个洁净室或洁净区移动到另一个洁净室或洁净区时,气闸(缓冲间)的设计有助于保持压差。气闸的设计或操作使一个相对的门总是关闭。然而,除非这些门装有充气密封,否则当其中一扇门打开时,通过气闸的泄漏量通常比两扇门都关闭时更大(客观事实)。
三.关于缓冲间压差的监测要求:应监测开关门后压差恢复的情况,确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些(开关门)常规压差变化,以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估:
1.关闭所有的门和传递窗,定义所有设备的运行状态,观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差,注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动;
2.每个缓冲间、传递窗或转移舱,打开所有的门,一次打开一边的门,注意房间或区间压力波动。关门,确认压差回到其原始值;
3.泄漏通道,例如门周边泄漏,应进行评估,作为洁净间设计的一部分,以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。

       洁净室竣工后,再投入使用之前,首先要经过国家授权的检测机构的检测,并且取得洁净室检测合格报告,然后彻底消毒以后,才能正常使用。

      

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